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羅茨真空泵,簡(jiǎn)稱羅茨泵,是由羅茨鼓風(fēng)機(jī)演變而來(lái)的一種無(wú)內(nèi)壓縮的旋轉(zhuǎn)式變?nèi)萘空婵毡?。羅茨泵和油增壓泵是工業(yè)上常用的。羅茨空泵具有高效、節(jié)能、低噪音、無(wú)泄漏、運(yùn)行穩(wěn)定的特點(diǎn)。
羅茨泵分類如下:
1.羅茨泵(也稱為true 空泵)
羅茨泵按工作壓力范圍的不同,可分為干式羅茨泵和濕式羅茨泵,以及Zhen 空羅茨泵(機(jī)械增壓泵)和高Zhen 空多級(jí)羅茨泵。近年來(lái),羅茨泵得到了廣泛的應(yīng)用。
羅茨泵是一種雙轉(zhuǎn)子容積式泵。在泵腔內(nèi),有兩個(gè)同步相對(duì)旋轉(zhuǎn)的對(duì)稱轉(zhuǎn)子,形成泵腔內(nèi)容積的周期性反復(fù)變化,以達(dá)到吸、排氣的目的。轉(zhuǎn)子有兩個(gè)、三個(gè)和四個(gè)葉片。兩個(gè)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)方向相反,由軸端齒輪驅(qū)動(dòng)同步旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子之間沒(méi)有接觸,轉(zhuǎn)子和泵腔壁之間也沒(méi)有接觸。轉(zhuǎn)子之間通常有0.15 ~ 1.0毫米的間隙,泵腔由間隙密封。由于羅茨泵的泵腔內(nèi)沒(méi)有摩擦,轉(zhuǎn)子高速運(yùn)轉(zhuǎn),一般為1500 ~ 3000 r/min,不需要潤(rùn)滑油就可以實(shí)現(xiàn)更清潔的泵送過(guò)程。泵的潤(rùn)滑部件僅限于軸承、齒輪和動(dòng)態(tài)密封。
圖1羅茨真空泵
羅茨泵具有重量輕、體積小、噪音低、效率高、運(yùn)行速度快等優(yōu)點(diǎn),能抽出含有一定量粉塵或冷凝物的氣體。廣泛應(yīng)用于冶金、石油、化工、電子、紡織等行業(yè)。羅茨泵在100~1Pa真空的抽速較高,彌補(bǔ)了機(jī)械泵和蒸汽流泵在該壓力范圍內(nèi)抽速較低的缺點(diǎn),故又稱為機(jī)械增壓泵。羅茨泵在real 空工程領(lǐng)域應(yīng)用時(shí),一般與前一級(jí)泵串聯(lián)組成一個(gè)單元,在real 空范圍內(nèi)作為機(jī)械增壓泵使用;兩級(jí)或多級(jí)羅茨泵機(jī)組可獲得高真空;對(duì)于干式清潔無(wú)油泵送系統(tǒng),一般采用風(fēng)冷羅茨泵機(jī)組;對(duì)于含有水蒸氣的泵送系統(tǒng),通常采用濕式羅茨泵。
2.機(jī)油助力器真空泵
當(dāng)工作壓力在10 ~ 10-2 Pa范圍內(nèi)時(shí),油擴(kuò)散噴射泵具有較高的抽吸速度和較高的最大出口壓力,其抽吸能力是擴(kuò)散泵的4 ~ 20倍,加熱功率是擴(kuò)散泵的2 ~ 5倍。油擴(kuò)散噴射泵的泵速很大,在1 ~ 0.1 Pa。由于油擴(kuò)散噴射泵的工作壓力范圍在油擴(kuò)散泵和油封機(jī)械泵泵送能力下降的區(qū)域,因此可以彌補(bǔ)真空泵在該壓力范圍內(nèi)泵送速度低和真空泵泵送速度高的缺點(diǎn)。所以這種泵可以作為主泵,經(jīng)常用在大型油擴(kuò)散泵和以前的機(jī)械泵之間,這樣才能保證真實(shí)性。
油擴(kuò)散噴射泵對(duì)惰性氣體的抽吸速度與其他氣體相同,具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、無(wú)機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)部件、操作維護(hù)方便、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。油擴(kuò)散噴射泵廣泛應(yīng)用于真空感應(yīng)熔煉、真空電弧熔煉、真空干燥、真空壓力浸漬、真空蒸餾等設(shè)備中。
圖2羅茨泵壓頭
羅茨true 空泵結(jié)合了羅茨鼓風(fēng)機(jī)的優(yōu)點(diǎn)。經(jīng)過(guò)改進(jìn),它在工業(yè)中有著顯著的地位。在未來(lái)的行業(yè)中,羅茨振空泵仍將發(fā)揮積極的發(fā)展作用。
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