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羅茨真空泵工作原理圖(羅茨真空泵的工作原理)

一、羅茨真空泵容積作用原理

羅茨真空泵是按羅茨鼓風(fēng)機(jī)的原理工作的。工作時(shí)，被抽氣體由進(jìn)氣口進(jìn)入轉(zhuǎn)子和泵體之間，這時(shí)一個(gè)轉(zhuǎn)子和泵體把氣體與進(jìn)氣口隔開，被隔開的氣體在轉(zhuǎn)子連續(xù)不斷的旋轉(zhuǎn)過程中，被送到排氣口。V0 空間是處在密閉狀態(tài)的，因此，沒有壓縮與膨脹。但是，當(dāng)轉(zhuǎn)子的峰部轉(zhuǎn)到排氣口邊緣時(shí)，由于V0部分的壓力比排氣口處的壓力低，為了使相連體積內(nèi)壓力均勻，氣體會(huì)從排氣口處擴(kuò)散到V0區(qū)域，其擴(kuò)散方向與轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)方向相反。逆流冷卻真空泵當(dāng)轉(zhuǎn)子再轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，把V0處的氣體壓縮到排氣口將其排除。這時(shí)轉(zhuǎn)子的另一面與進(jìn)氣口相連部分則吸入氣體，當(dāng)轉(zhuǎn)子不斷地旋轉(zhuǎn)時(shí)，重復(fù)上述抽氣過程不斷地排出流進(jìn)來的氣體。這種工作過程相當(dāng)于轉(zhuǎn)子空間由某一最小值增加到最大值，然后再由最大值減小到最小值。

二、羅茨真空泵分子作用原理

SR-V羅茨真空泵在入口壓力很低情況下工作時(shí)，由于轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速很高(1000r/min-3000r/min),轉(zhuǎn)子表面的線速度接近于分子的熱運(yùn)動(dòng)速度，這時(shí)碰撞在轉(zhuǎn)子上的氣體分子被轉(zhuǎn)子攜帶到壓力較高的排氣口，再被預(yù)真空泵排除。

羅茨真空泵是一種雙轉(zhuǎn)子的容積式真空泵，在泵腔內(nèi)有兩個(gè)形狀對(duì)稱的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子形狀有兩葉、三葉和四葉的。兩個(gè)轉(zhuǎn)子彼此朝相反方向旋轉(zhuǎn)，由軸端齒輪驅(qū)動(dòng)同步轉(zhuǎn)動(dòng)。轉(zhuǎn)子彼此無接觸，其間通常有0.15--1mm的間隙，泵腔靠間隙來密封。

羅茨真空泵泵腔內(nèi)無摩擦，轉(zhuǎn)子可高速運(yùn)轉(zhuǎn)，一般為1500-3000r/min，而且不必用油潤滑，可實(shí)現(xiàn)無油清潔的抽氣過程。泵的潤滑部位僅限于軸承和齒輪，以及動(dòng)密封處。泵沒有往復(fù)運(yùn)動(dòng)，平穩(wěn)、轉(zhuǎn)速高、尺寸小，可獲得大的抽速。

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